电子超纯水设备
产品参数
PRODUCT PARAMETERS
系统特点

此套超纯水设备主要用于电子行业,与五金电镀、表面处理等行业不同的是,电子行业用超纯水设备对水质要求相对严格,一般需要采用EDI工艺。电子半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,线宽越窄,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。

电子行业超纯水用水标准:(以下资料仅供参考,实际操作中以顾客所在具体行业、产品清洗用水要求进行工艺流程设计)

 

指 标 名 称

一 级 水(EW-1)

二 级 水(EW-2)

电阻率MΩ.CM. (25℃)

18(95‰时间)不低于17

15(95‰时间)不低于13

 硅   ≤μg/L 

2

10

>1μm 微粒数 

0.1

5

 细菌个数 ≤个/ml

0.01

0.1

  铜   ≤μg/L

0.2

1

  锌   ≤μg/L

0.2

1

  镍   ≤μg/L

0.1

1

  钠   ≤μg/L

0.5

2

  钾   ≤μg/L

0.5

2

  氯   ≤μg/L

1

1

 硝酸根  ≤μg/L

1

1

 磷酸根  ≤μg/L

1

1

 硫酸根  ≤μg/L

1

1

 总有机碳 ≤μg/L

20

100


工艺简介
 

电子工业制备超纯水设备的工艺大致分成以下3种:   
1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点   
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点   
3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

 

次套超纯水设备采用双极反渗透+EDI系统原水—原水箱原水泵—絮凝加药系统—石英砂过滤器—活性炭过滤器—软化器—阻垢加药系统—保安过滤器— 一级高压泵—中间水箱— PH调节 二级高压泵— 二级反渗透— 纯水箱—EDI增压泵—紫外线杀菌器—EDI系统—超纯水箱—超纯水增压泵—精混合床—微孔过滤器—用水点

 

功能简介:

(1)石英砂过滤器:吸附水中的铁锈、泥砂、大颗粒杂质降低浊度以保证下级过滤的效果

(2)活性炭过滤器:吸附水中的胶体、有机物、漂白粉等有机溶剂,保证下级过滤效果
(3)软水器:除去水中的钙镁等离子,保证下级过滤效果,延长反渗透主机中膜组件的使用寿命
(4)反渗透主机:通过膜组件有效地去除水中的溶解盐类、胶体、微生物、有机物等,生产纯水
(5)EDI:又称连续电除盐技术,是通过阳阴离子膜对阳阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用,在电场的作用下实现水中离子的定向迁移,从而达到水的深度净化除盐,并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生。

(6)紫外线杀菌器:快速有效的杀灭各种细菌,病毒等微生物并降解水中氯化物

(7)精制混床:装置罗门哈斯抛光树脂,进一步提高水质(纯水经过DEI后可达16兆,经过精混后可达18兆以上)

(8)0.2μm精密过滤器:高效能去除水、油雾、固体颗粒,100%去除0.01μm及以上颗粒、油雾浓度控制在0.01ppm/wt

应用行业
 

电子行业生产:如单晶硅、半导体、集成电路块、IC芯片封装、彩色显像管、玻壳、液晶显示器、印刷电路板等生产工艺所配套纯水、超纯水系统。

 

 
产品特点

 

(1)系统采用全不锈钢配置,运行稳定,精致美观,操作简单方便;

(2)配备有原水箱、中间水箱,配备液位器装置,防止因自来水压力不稳定对设备造成影响;  
(3)配备专用无菌水箱,配备压力式液位计,旋转喷淋清洗及空呼吸装置;

(4)配备有水箱进水电磁阀,比常规的浮球进水阀性能稳定;

(5)配备软水器,并配备有专用盐箱;

(6)采用双级反渗透系统配置,确保系统稳定运行;

(7)配备有PH调节及在线检测系统,计量泵,调节PH值,防止CO2 对产水水质的影响;

(8)采用超低压反渗透,脱盐率高,使用寿命长,运行稳定,能耗下降20%;

(9)反渗透通过膜设计软件及现场运行经验,科学配置;

(10)配备专用浓水调节阀,操作方便;

(10)配备有UV紫外线及膜滤器,防止细菌对水质的影响;

(12)配备臭氧杀菌;清洗更彻底;

(13)具有压力关键点设立无水、低压、超压、等多重保护安全功能;

(14)主要电器元件保质保量,并按配置设计;

(15)配备有超纯化水输送供水系统。

 

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